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plasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD)相关论文
不同基体上沉积类金刚石膜的摩擦磨损性能研究
采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法和阴极弧放电方法分别以硬质合金K10、硅片、Gcr15钢和316LN不锈钢作为基体,在其表面成功沉积......
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diamond like carbon (DLC) films
plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD
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